液氦低温探针台 PSM-LHe系列
PSM-LHe系列液氦低温探针台能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个4K-475K高低温真空测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测，用于低温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电学测试。
液氦低温探针台 PSM-LHe系列产品概述
液氦低温探针台在科学研究和技术开发中发挥着至关重要的作用。它能够在低温环境下对样品进行各种非破坏性的物理性能和电学性能测试，帮助研究人员深入了解材料或者器件的各种物理性能和电学性能，从而为新材料的研发和应用提供重要的数据支持。
PSM-LHe系列液氦低温探针台能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个4K-475K高低温真空测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测，用于低温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电学测试。
特点
• 液氦，腔体真空度可达到10E-4torr。
• 探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。
• 独特的探针臂 X-Y-Z-R四维调节，能满足最大4英寸样品的测试。最多可同时安装6个探针臂，探针臂可选直流臂、光纤臂、微波臂等。
• 真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰提高测试的精准度和稳定性。
• 探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，实测漏电流小于30fA@1V@4K--475K。
• 测试温度范围宽，最大支持4K-475K连续变温。
液氦低温探针台 PSM-LHe系列技术参数
参数和指标：
| 探针台主机分类 |
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| 型号 |
PSM-LHe-2 |
PSM-LHe-4 |
| 温度范围 |
4K--325K |
4K--325K |
| 控温稳定性 |
+/-50mK |
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| 样品座 | ||
| 类型及材料 |
无氧铜接地镀金样品座 |
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| 尺寸 | 2寸 | 4寸 |
| 可选规格 |
绝缘样品座 （温度只能到400K）
同轴样品座 （温度只能到400K）
三同轴样品座（温度只能到400K）
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| 探针臂 | ||
| 类型 |
直流探针臂（标准） |
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| 可订制规格 |
微波探针臂、光纤探针臂、热电偶探针臂 |
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| 数量 | 4 | |
| 接头及电缆 |
三同轴接头+极细同轴低温电缆 |
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| 漏电流 |
30fA@1V 真空环境中 |
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| 信号频率 |
DC--50MHz |
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| 匹配阻抗 |
50欧姆 |
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| 位移范围 | X+/- 12.5mm,Y+/- 50mm Z +/-7.5mm, R+/-10° |
X+/- 12.5mm,Y+/- 50mm Z +/-7.5mm, R+/-10° |
| 光学系统 | ||
| 显微镜放大倍数 |
500倍 |
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| 分辨率 |
小于2微米 |
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| 视场 |
最大22mm |
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| 工作距离 |
90--100mm |
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| 真空腔 | ||
| 材料 |
铝合金 |
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| 真空腔尺寸 |
8英寸 |
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| 视窗尺寸 |
2英寸 |
4英寸 |
| 真空腔体窗口 |
红外吸收窗口 |
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| 内层 |
标准石英窗口 |
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| 真空度 |
5E-4torr |
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| 预留接口 |
2个探针臂接口&2个电学接口 |
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| 防辐射屏材料 |
不锈钢 |
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| 专用振动隔离桌 |
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| 尺寸 |
800*800*800 |
900*900*800 |
| 桌推 |
固定脚&滚轮 |
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| 减振 | 重力减振&气浮减振垫 | |
