HX12N系列半自动探针台配置高精度的直线电机滑台模组，行程满足8英寸、12英寸芯片的测试。定位精度高，反应速度快以及使用寿命长等优势，滑台同时配备了高精度的光栅反馈系统，保证了运行精度的可靠性，并且该模组为本公司自研产品，保证了模组的成品质量和生产周期，为探针台的测试提供了又快又准的硬件保障。

软件功能介绍
• 可测试圆片，测试范围可选，支持隔行抽测和环形测试，MAP图可以编辑测试；
• 支持坏点重测；
• 具备离线打点、同步打点功能；
• 具备接触缓冲功能，针痕稳定；
• 运行精度补偿功能，保证测试的稳定性；
• 测试良率、总数、速度显示；
• CCD图像自动对准和定位；
• 设备具备一定的抗干扰能力，支持高低温测试，运行稳定；
• 多BIN分类测试，测试数据可以存储，可以导出，兼容后道设备格式使用，具有数据统计分析功能；
• 操作员，管理员，系统厂家权限管理功能

参数和指标：

性能名称		技术指标
可测片径		8″、12″
XY工作台	结构	直线电机
	行程	230mm × 220mm，分辨率：1μm
	速度	＞200mm/s
	定位精度	≤±2μm
承片台	Z向行程	10mm，分辨率：1μm
	Z台精度	≤±1μm
	Z向分辨率	≤±0.5μm
	θ向调节范围	±25°
	θ向分辨率	0.006°
显微镜/视频显示系统		双目体视显微镜/可选配三目显微镜及CCD实时视频显示装置
控温范围		-45℃~150 ℃
温度设置分辨率		0.1 ℃
温度均匀性		-45°C 至 +150°C < ±1 °C，>150 °C < ±1 %